一、大宗氣體系統(tǒng)（CDA、GN?、GO?、GAr、GH?、GHe、CO?）
1、依據工藝機臺流量疊加+20%余量完成耗量計算，總流量偏差≤±3%；設計壓力等級0.6MPa、0.8MPa、1.6MPa三檔，末端壓力波動≤±0.02MPa。
2、設計空壓機+吸附干燥+催化干燥+0.01μm過濾器制取CDA，露點≤-70℃，殘油≤0.01mgm?3，顆?！?.1μm≤0.1pcs/m3；系統(tǒng)冗余N+1，自動切換時間≤30s。
3、設計低溫儲罐（GN?/GO?/GAr/GHe）、真空絕熱管道，日蒸發(fā)率≤0.15%；儲罐壓力0.4MPa，末端汽化器出口溫度15-25℃，汽化能力峰值≥1.5倍最大小時用量。
4、設計高壓GH?隔膜壓縮機，出口壓力45MPa，泄漏率≤1×10??Pa·m3s?1；設置氮氣吹掃+雙截止泄放閥組，管道材質316LEP級，內表面粗糙度Ra≤0.25μm。
5、設置中央純化器：GN?純化后O?≤1ppb，H?O≤1ppb，顆?！?.05μm≤1pcs/m3；GO?純化后THC≤10ppb，H?O≤50ppb；純化器切換再生時間≤4h，旁路響應≤10s。
6、配置PLC+SCADA，實時監(jiān)測壓力、溫度、流量、露點、純度，數據刷新≤1s；高壓段設置氣體偵測器，報警≤10s，自動關斷閥關閉時間≤1s。
7、編制安裝、保壓、氦檢、顆粒測試方案：高壓管道30MPa保壓30min壓降≤0.05MPa；氦質譜檢漏率≤1×10?1?Pa·m3s?1；顆?！?.1μm≤10pcs/m3。
二、特氣供應系統(tǒng)（SiH?、NH?、Cl?、HCl、PH?、AsH?、BF?、WF?、N?O、CF?、HBr等）
1、依據工藝機臺流量及切換瞬態(tài)完成瓶束/鋼瓶/Y-cylinder耗量計算，余量≥30%；設計雙流程源柜（VMB）+雙鋼瓶自動切換，切換時間≤15s，壓力波動≤±0.01MPa。
2、設計獨立特氣間，耐火等級≥2h，防爆等級ExdIICT6，排風換氣≥12次/h，負壓差-50Pa~-100Pa；設置紅外/電化學雙傳感器，氣體偵測器T90≤10s，報警≤1s聯(lián)動關斷閥。
3、選用316LEP級管道，內表面Ra≤0.13μm，全自動軌道焊100%拍片，焊縫凸起≤0.05mm；He檢漏率≤1×10?11Pa·m3s?1，顆?！?.02μm≤10pcs/m3。
4、設置雙氣動隔膜閥+泄放閥組（DoubleBlock&Bleed），閥座泄漏率≤1×10??Pa·m3s?1；SiH?、PH?、AsH?等自燃/劇毒氣體配置0.01s高速關斷閥，驅動氮氣壓力0.6-0.8MPa。
5、設計尾端LocalScrubber：燃燒+水洗+吸附三級，DRE≥99.99%，出口SiH?≤0.1ppm，PH?≤0.05ppm，HF≤1mgm?3；煙囪高度≥15m，流速≥10ms?1。
6、設置鋼瓶稱重系統(tǒng)，精度±10g，剩余量≤5%觸發(fā)更換信號；建立鋼瓶全生命周期條碼追溯，領用、回收、報廢記錄100%系統(tǒng)留痕。
7、編制SEMIS2、NFPA318、GB50493符合性驗證文件，完成IQ/OQ/PQ，系統(tǒng)可用率≥99.9%，年度泄漏檢測≥4次零事件。
三、化學品供應系統(tǒng)（酸、堿、溶劑、研磨液、光刻膠、顯影液）
1、依據工藝用量+20%余量完成日耗量計算，設置ISOTank/IBC/Drum三級補液模式，切換時間≤5min；主管流速1-1.5ms?1，回流速≥0.5ms?1，溫度控制±1℃。
2、設計獨立化學品間，耐火≥2h，地面防腐環(huán)氧+圍堰110%容積，負壓-30Pa；排風≥12次/h，溶劑間采用防爆ExdIIBT4，酸間設酸霧吸收塔，排放HCl≤5mgm?3。
3、選用PTFE/PFA/316LEP級管道，內表面Ra≤0.25μm；雙管套管輸送，外層PP-R透明管，泄漏傳感器響應≤5s，自動關斷閥≤1s。
4、設置中央化學品供應柜（CDU），配置0.1μm過濾器，顆粒≥0.1μm≤10pcs/mL；金屬離子Na?≤0.3ppb，K?≤0.2ppb，Cu≤0.05ppb；溫度控制15-25℃±0.5℃。
5、設計回收/廢液收集系統(tǒng)：廢酸、廢溶劑分類收集，廢液罐N+1冗余，液位連續(xù)測量±5mm；設置廢液濃度在線監(jiān)測，超標自動切換事故罐，零排放外泄。
6、配置PLC+SCADA，實時監(jiān)測壓力、流量、溫度、液位、泄漏，數據刷新≤1s；設置兩級報警：預報警90%液位，緊急報警95%，自動停泵；歷史數據存儲≥5年。
7、編制化學品質保與追溯體系：每批次MSDS、COA、金屬離子、顆粒、水分、色度檢測，數據錄入LIMS；過濾器更換壓差≥初始2倍或30天，先到為準。
四、安全、環(huán)保與職業(yè)健康
1、符合SEMIS2、NFPA318、GB50493、GB50058、GB/T20801、危險化學品管理條例；建立HAZOP、LOTO、PPE、應急響應體系。
2、設置氣體/化學品泄漏中央監(jiān)控系統(tǒng)，T90≤10s，聲光報警≤1s，自動切斷閥≤1s；年度泄漏檢測≥4次零事件。
3、建立鋼瓶、儲罐、管道、閥門臺賬，年度檢驗率100%；特種設備備案、定檢一次通過率100%。
4、組織特氣自燃、化學品灼傷、HF中毒、Cl?泄漏應急演練≥2次/年，演練評估改進完成率100%；年度安全、環(huán)保事故0起。
五、運行維護與故障處理
1、建立7×24h巡檢制度，大宗氣體、特氣、化學品間每班≥1次；紅外熱像檢測每月≥1次，熱點溫升≤55K。
2、制定年度預防性維護計劃：過濾器、純化器、泵、閥門、傳感器、標定氣體，一次完成率≥98%；特氣柜閥座泄漏率年度復測≤1×10??Pa·m3s?1。
3、故障響應：大宗氣體壓力異常MTTR≤15min，特氣柜泄漏MTTR≤10min，化學品泄漏MTTR≤5min；建立RCA數據庫，年度重復故障率下降≥20%。
4、備品備件：高速關斷閥、隔膜閥、傳感器、過濾器、PFA管關鍵件庫存≥單元總量10%，存儲環(huán)境≤25℃/50%RH。
六、項目與成本管理
1、編制氣化專業(yè)WBS、進度網絡圖，關鍵路徑偏差≤2天；預算控制±2%以內，設計變更簽證率≤1%。
2、工程量清單準確率≥98%，高純氣體管道、PFA管損耗率≤1%，廢管回收率≥95%；對承包商月度考核，質量、安全、進度權重分別40%、30%、30%。
3、竣工后30天內完成竣工圖、備品備件、軟件備份、驗證報告移交，資料完整率100%。
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